采用脉冲激光沉积(PLD)技术，在(110)和(100)织构金刚石膜上成功制备出高度c－轴取向的ZnO薄膜，然后在纯氮气氛条件下对ZnO薄膜进行退火......

用脉冲激光沉积(PLD)技术制备了ZnO/SiC/Si和 ZnO/Si薄膜并制成了紫外探测器。利用X射线衍射(XRD)，光致发光(PL)谱，I-V曲线和光电响......

在很多研究中，退火是提高ZnO薄膜晶体质量和改善其发光性能的有效方法。研究了脉冲激光沉积法（PLD）方法制备的ZnO薄膜退火后的发光特......

采用射频磁控溅射法在Si（100）衬底上沉积过渡族金属Mn掺杂的ZnO薄膜。将5％及7％原子比的MnO，与ZnO粉末充分混合后，加压制成靶材，通过改变溅......